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日本armssystem無掩模曝光高分辨率顯微鏡

日本armssystem無掩模曝光高分辨率顯微鏡 UTA系列

UTA系列是一種縮小投影無掩模曝光系統(tǒng),結(jié)合了DLP投影儀和金相顯微鏡,其價(jià)格比傳統(tǒng)系統(tǒng)更加合理。(用于無掩模光刻的圖案投影曝光設(shè)備)
可以使用專門開發(fā)的軟件創(chuàng)建自由圖案。

  • 產(chǎn)品型號(hào):UTA系列
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-08
  • 訪  問  量:332
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詳細(xì)介紹

日本armssystem無掩模曝光高分辨率顯微鏡 UTA系列 特點(diǎn)介紹


我們的“無掩模曝光設(shè)備/顯微鏡 LED 曝光裝置 UTA 系列"被用于主要由名古屋大學(xué)的 Minoru Osada 教授進(jìn)行的一些研究。


?顯微鏡LED曝光裝置UTA系列是無需掩模的光刻用圖案投影曝光裝置。(無掩模曝光設(shè)備)


?使用金相顯微鏡和帶LED光源的DLP投影儀,將分辨率為數(shù)微米的任意圖案投影到涂有抗蝕劑的基板上并進(jìn)行曝光。


- 可以在計(jì)算機(jī)上自由創(chuàng)建圖案。


?它比電子束光刻便宜得多,也更簡單,因?yàn)殡姌O可以在大氣中形成在各種尺寸和形狀的層狀材料的單晶薄片上。無需創(chuàng)建昂貴的電極圖案掩模。(如果幾微米的分辨率就足夠了)


日本armssystem無掩模曝光高分辨率顯微鏡 UTA系列 規(guī)格參數(shù)


薄膜 FET 和霍爾效應(yīng)測(cè)量樣品的電極形成

形成電極以去除石墨烯/鉬原石上的薄片并評(píng)估原石的特性

研發(fā)應(yīng)用模式形成


由于它結(jié)合了顯微鏡和 DLP,因此可以比現(xiàn)有的無掩模曝光設(shè)備以更低的成本構(gòu)建系統(tǒng)。

易于使用的專用軟件可讓您輕松創(chuàng)建曝光圖案

物鏡的放大倍率可以實(shí)現(xiàn)從微小圖案到大范圍的批量曝光。

也可以將其連接到您自己的金相顯微鏡上(根據(jù)條件)

分辨率也可以達(dá)到數(shù)微米(數(shù)微米圖案成型)。



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