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日本e-yamato高純氣體用壓力調節(jié)器半導體用 SR-2HH/SRQ-1HH高純度氣體（純度99.999~99.99999%）和腐蝕性氣體的供應。SR-1HLVI具有特殊結構，即使從調節(jié)器出口抽真空，二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。即使進行抽真空，氣體也不會從入口側（一次側）流動。
產品型號：SR-2HH/SRQ-1HH廠商性質：經銷商更新時間：2024-10-09訪 問 量：249
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日本e-yamato高純氣體用壓力調節(jié)器半導體用 SR-2HH/SRQ-1HH 特點介紹
高純度氣體（純度99.999~99.99999%）和腐蝕性氣體的供應。
SR-1HLVI具有特殊結構，即使從調節(jié)器出口抽真空，二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。
即使進行抽真空，氣體也不會從入口側（一次側）流動。
可作為經濟產業(yè)大臣認證品生產。在高壓氣體設備中使用時，請選擇合格品。
也可制作流動方向體、左側入口（左高壓）型。
日本e-yamato高純氣體用壓力調節(jié)器半導體用 SR-2HH/SRQ-1HH 規(guī)格參數
SR-2HH
SRQ-1HH
一次側壓力（MPa）
2~20
4~20
二次側使用壓力（MPa）
1~15
3~15
使用溫度（度C）
-10~40（股計溫度:-10~7攝氏度）
3/8
1/4
外部記錄量（Pam2/sec）
螺紋接頭:1.01x10-以下焊接頭:1.02x10-以下
接氣主
本體
SUS316
SUS316L
要部材質
材貿記號
隔膜
SUS316
哈斯特洛伊
脫身
弁材
PEEK
PEEK
476
其他
SUS316.SUS304.PTFE
SUS316L.SUS316.PTFE
過濾器粗糙度
40μm
40μm
質
量
(km)
4.3
1.3
標準流量
2/mininorNe)
1200（P=20MPa，P2=15MPa）。
160（P=15MPa，Pe=12MPa）
最大流量
/min(ar.N)
1600（P1=20MPa，Pz=15MPa）。
200（P=15MPa，Pz=12MPa）。
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