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您的位置:首頁  /  產(chǎn)品展示  /  過程控制儀器  /  壓力調(diào)節(jié)器  /  S-TORRⅤA10日本日酸TANAKA負(fù)壓用壓力調(diào)節(jié)器減壓閥

日本日酸TANAKA負(fù)壓用壓力調(diào)節(jié)器減壓閥

日本日酸TANAKA負(fù)壓用壓力調(diào)節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤA10

●S-TORR調(diào)節(jié)器是在半導(dǎo)體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調(diào)節(jié)器基礎(chǔ)上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。

  • 產(chǎn)品型號(hào):S-TORRⅤA10
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-09
  • 訪  問  量:240
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詳細(xì)介紹

日本日酸TANAKA負(fù)壓用壓力調(diào)節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤA10 特點(diǎn)介紹


●S-TORR調(diào)節(jié)器是在半導(dǎo)體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調(diào)節(jié)器基礎(chǔ)上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。

●通過排除氣體接觸部的螺紋結(jié)構(gòu),標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施電解研磨,實(shí)現(xiàn)了水分置換特性、顆粒減少。

●主體與接頭的連接采用焊接,隔膜部的外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。由于具有較高的外部密封性,即使在純度較高的氣體上也能放心使用。

●在一次室的流路內(nèi)置過濾器,減少了內(nèi)部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測(cè)試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)。

●STVA10系列支持負(fù)壓控制,可用于負(fù)壓供給低蒸汽壓的液化氣體的氣缸箱。

●從接觸氣體部排除彈簧,降低了顆粒發(fā)生風(fēng)險(xiǎn)。

●采用串聯(lián)隔膜式。

●作為腐蝕性氣體用,準(zhǔn)備了在接觸氣體的主要金屬部分使用高耐腐蝕性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。


日本日酸TANAKA負(fù)壓用壓力調(diào)節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤA10 規(guī)格參數(shù)


●使用材質(zhì)接觸氣體部主體:隔膜:過濾器:壓力計(jì):接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調(diào)壓手柄:SUS316LSUS31 6L/鎳鉻鉬合金(STVA10SH)SUS316L SUS316L、SUS316、氟樹脂/Ni-Cr-Mo合金、SUS316L氟樹脂(STVA10SH)C3604ABS樹脂、C36 04

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