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日本Anelva離子計(jì)熱陰極電離真空計(jì)測(cè)量壓力

日本Anelva離子計(jì)熱陰極電離真空計(jì)測(cè)量壓力 M-311HG

這是傳感器真空計(jì)系列的離子計(jì)。離子計(jì)(熱陰極電離真空計(jì))具有優(yōu)異的重復(fù)性和線(xiàn)性度,可以在較寬的范圍內(nèi)測(cè)量壓力,使其成為優(yōu)秀的真空計(jì)。該傳感器采用經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的微型儀表(MG-2I 型)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):M-311HG
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間:2024-10-10
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:255
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詳細(xì)介紹

日本Anelva離子計(jì)熱陰極電離真空計(jì)測(cè)量壓力 M-311HG 特點(diǎn)介紹


這是傳感器真空計(jì)系列的離子計(jì)。離子計(jì)(熱陰極電離真空計(jì))具有優(yōu)異的重復(fù)性和線(xiàn)性度,可以在較寬的范圍內(nèi)測(cè)量壓力,使其成為優(yōu)秀的真空計(jì)。

該傳感器采用經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的微型儀表(MG-2I 型)。

10 -7 Pa 至 10 Pa 的寬壓力測(cè)量范圍,使得可以在不犧牲超高真空性能的情況下測(cè)量濺射工藝以外的低真空區(qū)域。

高響應(yīng)模擬輸出

壓力值的模擬信號(hào)輸出確保100毫秒內(nèi)的高響應(yīng)性,也可用于過(guò)程壓力控制。

可根據(jù)應(yīng)用選擇四種發(fā)射電流設(shè)置模式

,例如在高壓區(qū)域使用時(shí)提高燈絲壽命


日本Anelva離子計(jì)熱陰極電離真空計(jì)測(cè)量壓力 M-311HG 規(guī)格參數(shù)


型號(hào)名稱(chēng)離子計(jì)

M-311HG-SP M-311HG-RS

壓力測(cè)量范圍1×10 -7 ~ 10 Pa 

輸入電壓直流20~28V 

能量消耗12W 

模擬輸出0-10V - 

設(shè)定點(diǎn)2點(diǎn)繼電器輸出 

界面-  RS485 

輸入/輸出連接器 Dsub-9(男) 

最大電纜長(zhǎng)度 200米(1平方毫米) 

工作溫度限制 5~50℃ 

儲(chǔ)存溫度范圍 -20至70℃ 

傳感器型號(hào)名稱(chēng)微型BA規(guī)(MG-2I系列) 

傳感器材料(主要部分)燈絲:Y 2 O 3 /Ir,外殼:SUS304 

外形尺寸(毫米)110×70×50 


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