日本tem-tech半導(dǎo)體制造用壓力傳感器絕緣性 HYZ 特點介紹

配備微電腦高精度壓力傳感器

配備高耐腐蝕哈氏合金膜片

通過數(shù)字校正提高穩(wěn)定性

-0.1或0~0.5、1、2、3.5、5、20MPa

溫度補償功能帶來的穩(wěn)定性 ±0.02%FS/℃（溫度補償范圍內(nèi)）*

氣體接觸部件：哈氏合金C-22、SUS316L

氣瓶柜、VMB、燃氣面板

日本tem-tech半導(dǎo)體制造用壓力傳感器絕緣性 HYZ 規(guī)格參數(shù)

?實現(xiàn)綜合精度～0.2%F.S.的高精度

?隔膜是耐腐蝕性高的鋼板C-22

?與現(xiàn)有產(chǎn)品相比提高了精度、穩(wěn)定性

?可同時制作計量壓力、連成壓力

?可通過壓力傳感器主體進行零調(diào)整

?絕緣性高厚膜隔膜結(jié)構(gòu)

?標準傳輸信號為國際標準的2線式4-20mA

?采用電纜拆卸式，減輕維護時的作業(yè)負擔

?無封入液的驅(qū)動傳感器

測量流體半導(dǎo)體工藝氣體接觸氣體部材質(zhì)隔膜:哈斯特洛（C-22）傳感器本體:SUS316L測量范圍0（-0.1）—0.5、1、2、3.5、5、20MPa容許極限壓力小于20MPa:額定壓力×2倍、20MPa:x 1.5倍電源電壓DC24V±10%輸出信號4～20mADC（2線式）綜合精度±0.2%FS（直線性·歇斯底里包括再現(xiàn)性）溫度補償范圍0~50°C（無結(jié)冰、結(jié)露）動作溫度范圍-20~70°C（無結(jié)冰、結(jié)露）溫度特性±0.05%FS/°C（溫度補償范圍內(nèi)）、±0.02%FS/°C（溫度補償范圍內(nèi)）※可選保護等級相當于IP55※室內(nèi)規(guī)格安裝螺釘V CR（請咨詢其他）螺紋尺寸1/4"、3/8"、1/2"（請咨詢其他）電纜取出拆卸式M12連接器附帶電纜3m標準（2芯+屏蔽線））