日本NPC手持式非接觸式面電阻測試儀高精度 sigma-5+ 特點介紹

探頭接觸樣品即自動開始測量

可通過JOG旋鈕快速設(shè)定測量條件

5種測量范圍探頭可根據(jù)樣品電阻率進行更換    

可選配P/N型判定量測功能

應(yīng)用：硅片樣品， 化合物半導(dǎo)體， 外延層， 擴散層， 碳化硅， 薄膜材料， 金屬膜， ITO,  IZO, Low-E玻璃, LED/OLED等材料

日本NPC手持式非接觸式面電阻測試儀高精度 sigma-5+ 規(guī)格參數(shù)

它可以精確測量硅片等的電阻率，還有用于太陽能電池的硅的便攜式探頭。

這是一款高精度電阻率測量儀器，采用20多年電阻率測量相關(guān)的專業(yè)知識和技術(shù)設(shè)計和開發(fā)。

可以在半導(dǎo)體基板和導(dǎo)電薄膜基板的研發(fā)/檢查過程或生產(chǎn)線中高精度地確定和評估薄層電阻值和體積電阻值。

?帶有開關(guān)功能的智能面板，可進行詳細(xì)設(shè)置

?緊湊的桌面尺寸設(shè)計

?從低電阻到高電阻的寬測量范圍

?電流極性切換測量可抑制因整流而產(chǎn)生的誤差

?每次測量開始時自動調(diào)零功能

?自動設(shè)定最佳電流的自動量程功能

?試樣厚度修正功能

?測量值平均值顯示和打印機平均值計算功能

?半導(dǎo)體溫度校正功能

?各種溫度修正系數(shù)輸入功能

?帶數(shù)據(jù)打印機接口

?具有數(shù)據(jù)連接接口

這是一款手動型測量儀器，采用四探針法，可輕松準(zhǔn)確地測量太陽能電池用硅片、液晶基板、金屬薄膜等的方塊電阻或體積電阻。它支持從低電阻到高電阻的各種測量。

1) 用于硅錠制造→晶圓制造工序（成膜等各工序）的產(chǎn)品檢查　

2) 液晶面板（LCD基板）制造：成膜時的產(chǎn)品檢查

3) 用于各種導(dǎo)電材料制造過程中的產(chǎn)品檢驗

可以使用本公司另外配置的“4點探頭"進行測量。