日本filgen碳鍍膜機(jī)涂層系統(tǒng)快速響應(yīng)高性能 11427-AB 特點(diǎn)介紹

●節(jié)省空間/臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)

●快速鍍膜（金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A）——對(duì)樣品無熱損傷。

●可濺射/蝕刻

●可以通過移動(dòng)樣品臺(tái)來調(diào)整到目標(biāo)的距離。

●惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺(tái)冷卻

●提供各種靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可選）

● CE、RoHS（有害物質(zhì)限制）：符合歐盟有害物質(zhì)法規(guī) 

● 多種組合可實(shí)現(xiàn)多種選擇（*見下文） 

 例） ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監(jiān)視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監(jiān)視器 

日本filgen碳鍍膜機(jī)涂層系統(tǒng)快速響應(yīng)高性能 11427-AB 規(guī)格參數(shù)

尺寸 260(寬)×310(深)×150(高)毫米 

沉積頭 碳纖維頭（標(biāo)配）

碳桿頭 

氣相沉積用碳 碳纖維（標(biāo)準(zhǔn)碳蒸發(fā)頭用）、

碳棒（碳蒸發(fā)頭用） 

模型 11427-AB 

電源 AC110V 50Hz(60Hz) 

作品 真空控制基座單元 

碳涂層機(jī)模塊（帶碳纖維頭） 

● 節(jié)省空間/臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)

● 快速鍍膜（金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A）——對(duì)樣品無熱損傷。

● 可濺射/蝕刻

● 可以通過移動(dòng)樣品臺(tái)來調(diào)整到目標(biāo)的距離。

● 惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺(tái)冷卻

●提供各種靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可選）

● CE、RoHS（有害物質(zhì)限制）：符合歐盟有害物質(zhì)法規(guī) 

● 多種組合可實(shí)現(xiàn)多種選擇（*見下文） 

 例） ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監(jiān)視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監(jiān)視器