日本nasgiken微量金屬污染物自動(dòng)回收裝置 NAC-302 特點(diǎn)介紹

●硅片的處理過程是自動(dòng)化的，從氣相分解到污染物回收再到收集樣品的稀釋。

●疏水性和親水性晶圓均可收集（斜面收集只能收集疏水性晶圓）。

●當(dāng)需要同時(shí)對(duì)大量晶圓進(jìn)行采樣和分析時(shí)，這是一種極其強(qiáng)大的設(shè)備。

●具有對(duì)回收的藥液進(jìn)行計(jì)量和稀釋的功能，防止晶圓上殘留的藥液繼續(xù)作業(yè)。

●雙門結(jié)構(gòu)，防止工作空間內(nèi)的酸性氣氛和工人的污染。

●配備自動(dòng)清潔取樣用支架的功能，減少操作員的工作量（*前支架和側(cè)支架兼容）。

我們還擁有全自動(dòng)執(zhí)行“批量蝕刻→晶圓污染恢復(fù)"的設(shè)備（NAC-304）。

此外，近年來，為了減少污染，對(duì)能夠執(zhí)行“整體蝕刻→晶片污染回收→ICP-MS連接和自動(dòng)元素分析"整個(gè)過程的設(shè)備的需求非常高（NAC-316）。

日本nasgiken微量金屬污染物自動(dòng)回收裝置 NAC-302 規(guī)格參數(shù)

設(shè)備名稱 NAC-302 NAC-304 NAC-316 

兼容晶圓尺寸 125毫米、150毫米、

200毫米、300毫米 125毫米、150毫米、

200毫米、300毫米 300毫米 

內(nèi)置電腦 

外形尺寸（寬×深×高）（毫米）（*1）1850×1350×20002000×1500×20001700×2800×2300

使用設(shè)備酸排放、一般廢氣、酸廢氣

使用地點(diǎn)無塵室內(nèi)部